Analytische Möglichkeiten

 
Neben ihren hervorragenden Abbildungseigenschaften bieten die REM der VEGA Serie von TESCAN ausgezeichnete Möglichkeiten zur vollständigen Analyse der untersuchten Proben:
 

Für die Darstellung des Materialkontrasts können alle Modelle der VEGA REM mit einem Rückstreuelektronen- (RE-) Detektor mit Einkristallszintillator (YAG) ausgestattet werden. Der RE- Detektor zeichnet sich durch seine hohe Empfindlichkeit und hohe laterale Auflösung, sowie durch einen hohen Ordnungszahlkontrast (Z) aus.
 
TE-DetektorDer konische Polschuh der VEGA REM mit einem Scheitelwinkel von 90° ermöglicht eine starke Probenkippung auch bei kurzen Arbeitsabständen. In Verbindung mit dem unter 45° einfallenden Detektor-Port für ein energiedispersives Spektrometer (EDX) kann so ein optimaler Abnahmewinkel von 45° bei einem Arbeitsabstand (WD) von 23 mm erreicht werden.
 
Die Kammern der mit LM und XM bezeichneten Modelle sind zusätzlich mit Ports für den Anschluss eines WDX- (wellenlängendispersiven) und eines zweiten EDX- Spektrometers für die Analyse der charakteristischen Röntgenstrahlung ausgerüstet. Da die beiden Ports unmittelbar nebeneinander angebracht sind und auf die selbe Stelle bei gleichem Abnahmewinkel von 35° zielen, sind sie bestens für Simultananalysen mit beiden Methoden geeignet.
 
CL-DetektorEin weiteres analytisches Verfahren ist die so genannte Electron Backscattered Diffraction (EBSD) Methode zur Messung und Analyse von Elektronenbeugungsmustern im REM. Ein entsprechender Detektor- Port ist für diese Kammertypen realisiert.
 
BSE-DetektorDas Steuersystem der VEGA REM ist kompatibel mit Kommunikation und Steuerung der Analysensysteme vieler Hersteller. Somit können neben punktuellen Einzelanalysen bei entsprechender Ausrüstung auch automatisierte Messungen ('Mapping') größerer Probenbereiche per Strahl- und Tischsteuerung vorgenommen werden.
 
Die Probentische aller Kammern erlauben eine präzise Verschiebung der untersuchten Proben in drei Achsen (XYZ) sowie eine kontinuierliche Probenrotation (R). Eine euzentrische Kippung von bis zu 90° kann in beiden Richtungen vorgenommen und mit einer zusätzlichen Höheneinstellung (Z') fein eingestellt werden. Die Bewegung des Probentisches ist bei den Modellen mit mittelgroßer und extra großer Kammer in X, Y und R motorisiert. Der Probentisch kann auch für den Anschluss spezieller Testmodule und Spezialtische umgerüstet werden.
 
Ein für vollwertige Analysen notwendiges sauberes Hochvakuum wird mittels Turbomolekularpumpe erzeugt. Das entsprechende Pumpsystem begrenzt die Kontamination der untersuchten Probenoberflächen auf ein Minimum.
 
Ein zusätzlich für die VEGA REM angebotener Transmissionselektronen- (TE-) Detektor ermöglicht die Darstellung im Hell- und Dunkelfeld mit hoher Auflösung.