Die VEGA Elektronenoptik

Die einzigartige Wide Field Optics™ basiert auf einer von Tescan neu entwickelten Vier-Linsen-Elektronenoptik mit automatisch optimierter Einstellung des Strahldurchmessers (COSS = Computer Optimised Spot Size). Dem Benutzer stehen fünf Abbildungsmodi zur Verfügung, die  für verschiedene Anwendungen optimiert sind.
Die vollständige PC-Steuerung des optischen Systems erlaubt ein einfaches und schnelles Umschalten zwischen den Arbeitsmodi mit voreingestellten Arbeitsparametern.
In Kombination mit den automatisierten Prozeduren für Strahljustierung, Fokussierung und Astigmatismus-Korrektur bietet sie dem Anwender höchsten Komfort und eine gute Reproduzierbarkeit der Arbeitsergebnisse.