Als Neugerät oder
Upgrade Ihres CamScan REM

 
Das EO SCAN VEGA XLH REM basiert auf von EO generalüberholten großen CamScan Probenkammern mit deren bewährt stabilen Probentischen.
 

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Die EO SCAN Rasterelektronenmikroskope werden von TESCAN mit der innovativen VEGA Elektronenoptik, Softwaresteuerung und Elektronik, sowie einem neuen Vakuumsystem ausgestattet. Damit ist das EO SCAN REM auf dem neusten Stand der Technik.
 

EOScan

Besitzer eines älteren CamScan Rasterelektronenmikroskops können ihr REM durch den Umbau zum EO SCAN modernisieren lassen. Im Normalfall erhält der Kunde das neue VEGA XL im direkten Austausch gegen sein altes CamScan REM. Es fallen also keine längeren Ausfallzeiten an.
Falls der Kunde seine derzeitige Probenkammer mit Probentisch behalten möchte und auf das REM für einige Wochen verzichten kann, wird sein REM speziell für ihn umgebaut.
 
Das EO SCAN ist auch als Neugerät eine interessante Alternative für Anwender, die bisher kein CamScan Rasterelektronenmikroskop besessen haben!
 

EO SCAN REM Spezifikationen

Kammer*

315 x 315 x 315 mm mit 30° Abnahmewinkel*, 10 freie Flansche, Einblickfenster, automatische Innenbeleuchtung durch LED

Probentisch*

Euzentrischer Tisch, X = 100 mm und Y = 50 mm*, Z = 60 mm, Z’ = 10 mm, R = 360° kontinuierlich, Kippwinkel = -5° bis +90°, max. Probenhöhe = 80 mm

Kammertyp

 XL-

Vakuumtyp

H

Auflösung

3,0 nm

Vakuum

< 9*10-3 Pa

Arbeitsmodi Elektronenoptik

Resolution, Depth, Field, Wide Field, Channeling

Vergrößerung

4 bis 1.000.000 fach, 4 fach im Wide Field Modus

Standard Detektoren

SE, Strahlstrommessung, Berührungsmelder

Optionale  Detektoren

RE, TE, EBIC, EBSD, EDX, WDX*, Chamberscope ...

Beschleunigungsspannung

200 V to 30 kV

Kathodensystem

Wolfram-Haarnadelkathode

Strahlstrom

1 pA bis 2 µA

Vakuumsystem

Vollautomatisch, inklusive Rotationsvorpumpe und luftgekühlter Turbomolekularpumpe; Pumpzeit ca. 2-3 Minuten

Systemvoraussetzungen

230 V / 50 Hz oder 120 V / 60 Hz, 1300 VA
(Verbrauch ≈ 0,7 kWh), kühlwasserfreies System, Druckluft 5 bis 7 bar, trockener Stickstoff 1,5 bis 5 bar, minimale Aufstellfläche 3 x 3 m (Gerät ca. 2,2 x 1,2 m)

* weitere Kammern und Tische auf Anfrage

Wide Field Optics™ und In-Flight Beam Tracing™ sind eingetragene Warenzeichen von Tescan, a.s.
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