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Die VEGA Serie der Firma TESCAN bietet ein breitgefächertes Angebot an kompakten, volldigitalen Rasterelektronenmikroskopen (REM) mit Wolfram- (W) oder LaB6-Kathode.
Ausgestattet mit der innovativen Wide Field Optics™ Elektronenoptik, durchdachtem Kammerdesign und benutzerfreundlicher Bedienoberfläche sind die VEGA Rasterelektronenmikroskope ein hervorragendes und wertvolles Werkzeug in Forschung, Entwicklung, Qualitätssicherung und auf anderen Einsatzgebieten.
 

Aus folgenden Komponenten können wir Ihnen
das für Ihre Bedürfnisse passende Tescan VEGA Rasterelektronenmikroskop zusammenstellen:
 

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Vier Kammertypen:

- SB-, LM-, XM-Kammer oder GM-Spezialkammer

Zwei Vakuumsysteme:

- Hochvakuum (H) oder
- Uni-Vakuum (U) für Nieder- und Hochvakuumbetrieb

Zwei Kathodensysteme:

- Wolfram- oder LaB6-Kathode

Drei Tischoptionen:

- Short-, Standard- oder Extended-Table

Zusatzoptionen:
(bei Auslieferung oder zur späteren Nachrüstung)

- Analysensysteme / Detektoren verschiedener Hersteller
- Probenaufnahmen (Standard-, Spezial- und Custom-Lösungen)
- Verschiedene Bedienoberflächen und -möglichkeiten
- Erweiterungsoptionen
- Umfangreiches Zubehör
 

 
Die Rasterelektronenmikroskope der TESCAN VEGA Serie setzen mit ihrer Windows™ basierten, intuitiven Benutzeroberfläche neue Maßstäbe in Sachen Bedienerfreundlichkeit.
Vielfältige Automationsroutinen zur Feineinstellung sowie die Automatisierung von Arbeitsabläufen erlauben es dem Anwender, auf einfachem Wege schnell hochqualitative Ergebnisse zu erzielen.

 

TESCAN VEGA Kammer Spezifikationen

SB chamber
LM chamber
XM chamber

SB

LM

XM

Kammer- Innengröße

Ø 160 mm

Ø 230 mm

290 x 340 mm (B,T)

Türbreite

120 mm

148 mm

290 x 322 mm (B,H)

Typ

euzentrisch

compuzentrisch

compuzentrisch

X

45 mm mot.

80 mm mot.*

130 mm mot.

Y

45 mm mot.

60 mm mot.*

130 mm mot.

Z

27 mm man.

47mm mot.

100 mm mot.

Z’

6 mm man.

Rotation

360° mot.

360° mot.

360° mot.

Kippung (Tilt)

-90 bis +90° man.

-80 bis +80° mot.

-30 bis +90° mot.

Probenhöhe

34 mm max.

81 mm max.

147 mm max.

VEGA REM sind auch erhältlich mit spezieller GM Multi-Port-Kammer

*

LM-Kammer optional mit zwei weiteren X Y Konfigurationen erhältlich
 

Die digitale Steuerung über eine netzwerkfähige PC-Workstation mit TFT-Monitor und die benutzerfreundliche Software-Bedienung (Nutzerprofile und -protokolle möglich) kann per Maus & Trackball, Touchscreen (mit spezieller Bediensoftware) oder Tescan Control Panel erfolgen. Darüber hinaus verfügt die VEGA Software über eine integrierte digitale Bildbearbeitung, -vermessung und Archivierung.
Neben einer soliden Grundausstattung (REM mit SE-Detektor und SCA-Probenstrom-Messgerät), steht vielfältiges Zubehör für die Optimierung der Arbeitsaufgaben zur Verfügung.
 

TESCAN VEGA REM Spezifikationen

Kammertyp

SB- / LM- / XM- / GM-

Vakuumtyp

H

U

Auflösung

Hochvakuum-Modus

3,0 nm (2,0 bei LaB6)

3,0 nm (2,0 bei LaB6)

Niedervakuum-Modus

 —

3,5 nm (2,5 bei LaB6)

Vakuum

Hochvakuum-Modus

< 9*10-3 Pa

< 9*10-3 Pa

Niedervakuum-Modus

 —

3 - 500 Pa (optional 2000 Pa)

Arbeitsmodi Elektronenoptik

Resolution, Depth, Field, Wide Field, Channelling

Vergrößerung

ca. 1,5 bis 1.000.000 fach (je nach Kammermodell)

Standard Detektoren

SE, Strahlstrommessung, Berührungsmelder

SE, Strahlstrommessung, Berührungsmelder, RE

Optionale  Detektoren

RE, TE, EBIC, EBSD, EDX, WDX*, Chamberscope ...

TE, EBIC, EBSD, EDX, WDX*, LVSTD (bis 500 / 1000 Pa), Chamberscope ...

Beschleunigungsspannung

200 V bis 30 kV

Kathodensystem

Wolfram-Haarnadelkathode oder LaB6 Kathode

Strahlstrom

1 pA bis 2 µA

Vakuumsystem

Vollautomatisch, inklusive Rotations- und luftgekühlter Turbomolekularpumpe; Pumpzeit ca. 2-3 Minuten

Systemvoraussetzungen

230 V / 50 Hz oder 120 V / 60 Hz, 1300 VA
(Verbrauch ≈ 0,7 kWh), kühlwasserfreies System, Druckluft 5 bis 7 bar, trockener Stickstoff 1,5 bis 5 bar, minimale Aufstellfläche 3 x 3 m (Gerät ca. 2,2 x 1,2 m)

* WDX nur bei Modellen mit LM oder XM Kammer

Windows™ ist ein eingetragenes Warenzeichen
der Microsoft Corporation USA und anderer Länder.
 

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Wir stehen Ihnen gerne zur Verfügung!