20 Ports und unzählige Möglichkeiten

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GM Kammer

REM + WDX + EDX + EBSD + BSE + KL + In-Beam + LVSTD
und mehr in einem Gerät ...
 

Die GM Probenkammer mit ihren zwanzig Ports ist modular aufgebaut.
Auf diese Weise erlaubt die Kammer die Kombination verschiedener Säulen, Analysensysteme, Manipulatoren und Zusatzgeräte.

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Kammer Spezifikationen

GM

Kammerinnengröße

340 x 315 mm (B,T)

Türmaße

340 x 320 mm (B,H)

Ports

20+

Typ

compuzentrisch

X

130 mm mot.

Y

130 mm mot.

Z

100 mm mot.

Rotation

360° mot.

Kippung (Tilt)

-60 bis +90° mot.

Probenhöhe

145 mm max.

Alles in einem Gerät (siehe TESCAN LYRA)

• REM

Rasterelektronenmikroskop
(Scanning Electron Microscope)

• FIB

Fokussierter Ionenstrahl
(Focused-Ion-Beam)<

• SPM

Rastersondenmikroskop
(Scanning Probe Microscope)

TOF-SIMS

Flugzeit-Sekundärionen-Massenspektrometrie
(Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry)

EDX

Energiedispersive Röntgenspektroskopie
(Energy Dispersive X-Ray Analysis)

EBSD

Kristallgitterbeugung rückgestreuter Elektronen
(Electron Back Scattered Diffraction)

• EBIC

Elektronenstrahl-induzierter Strom
(Electron Beam Induced Current)

• SE

Sekundärelektronen
(Secondary Electrons)

• BSE

Rückstreuelektronen
(BSE - Backscattered Electrons)

• +++

Nanomanipulation, Nano-Kathodolumineszenz, GIS, WDX und mehr

GM Kammer, seitlich von hinten
TOF-SIMS
SPM

Weitere Angaben zur TESCAN GM-Probenkammer gerne auf Anfrage.