TESCAN VEGA REM mit CCTV-Kamera 
 

Optical Stage Navigator
für VEGA3 und MIRA3 XM REM

 
Zusammen mit dem “Optical Stage Navigator” bieten aktuelle TESCAN (FIB-) REM mit XM-Kammer die Möglichkeit einer erweiterten und vollautomatisierten optischen Navigation der Probenbühne. Dies macht die Orientierung auf dem Probentisch noch einfacher, als es ohnehin bereits der Fall ist.
Auf der Vakuumkammer des TESCAN REM mit XM-Kammer wird eine CCTV-Kamera angebracht, die mit einem Farbbild den Überblick über Probentisch und Proben liefert. Dieses Bild wird in hoher Geschwindigkeit mit dem REM-Bild korreliert. So verliert der Anwender den makroskopischen Überblick nicht, während er am REM arbeitet.
Ein einziger Mausklick auf die gewünschte Stelle im Übersichtsbild genügt, die motorisierte Probenbühne an die zu untersuchende Stelle fahren zu lassen. Das Gebiet um die angeklickte Stelle wird daraufhin im Scan-Fenster des REM mit der eingestellten Vergrößerung angezeigt.
 
Unten ist ein Beispiel dargestellt. Die zu untersuchende Stelle ist mit einem kleinen grünen Punkt im Bild der CCTV-Kamera markiert.
 

REM-Bild zeigt eine zu untersuchende Probe, CCTV-Bild zeigt Überblick über den gesamten Probentisch.

 
Benutzerfreundliche, einfache, schnelle und weitgehend intuitive Positionierung.
 

Für weitere Informationen stehen wir gerne zur Verfügung!