Tescan021

TESCAN Load Lock Systeme

Schnelle und intuitive Bedienung

Die Probenschleuse ist eine optionale Erweiterung der TESCAN Rasterelektronenmikroskope. Sie ermöglicht einen extrem schnellen Probenwechsel ohne die Probenkammer belüften zu müssen.
Die Probenschleuse ist in das automatische Vakuumsystem des TESCAN REM voll integriert. Die Hauptkammer des REM bleibt während der Bestückung des Probenhalters evakuiert. Zur Auswahl stehen eine manuelle oder automatisierte Load Lock Version.

Manual LoadLock System

Manual Load Lock

 
 

Anwendungsbeispiele:
Die Probenschleuse findet zum Beispiel bei Applikationen Anwendung, bei denen die Zeit des Probenwechsels auf ein Minimum reduziert werden soll oder kein signifikanter Vakuumverlust während des Probenwechsels stattfinden darf (z.B. bei FIB-REM).
 

Manual Load Lock System

a) Die Proben werden in der ausgefahrenen Probenschleuse beladen
b) Die Schleuse wird innerhalb von ca. 15 Sekunden evakuiert
c) Die Schleuse wird geöffnet, der Probenhalter auf dem Probentisch angebracht
 
 

Automated
Load Lock System

ermöglicht die komfortable und automatisierte Beladung des REM auch mit größeren Proben bis zu einem Durchmesser von 95 mm

Load Lock System

Manual

Automated

geeignet für Kammer

LM, XM

XM, GM

Probenzufuhr

manuell

automatisiert

Anzahl der Proben

1 Probenhalter für bis zu 7 Proben

Größe der Proben

max. 50 x 25 mm

Ø 95 mm

Ladezeit der Proben

< 1 min.

< 2 min.

Steuersystem

voll in die TESCAN Software integriert

Alle TESCAN Rasterelektronenmikroskope sind mit einer starken Vakuumpumpe ausgestattet. Bereits ohne Probenschleuse beträgt die Pumpzeit je nach Kammergröße maximal zwei bis drei Minuten.
 

 
Für weitere Informationen stehen wir gerne zur Verfügung!