Dekontamination von Elektronenmikroskopen

Der Elektronenbeschuss einer Probenoberfläche im REM oder FIB-REM bewirkt häufig Kontamination in Form eines dunklen Rechtecks des Rasterfeldes. Ursache sind im REM vorhandene, oder durch verschmutzte Proben eingeschleppte Kohlenwasserstoffe. Sie werden durch den Elektronenstrahl gecrackt und lagern sich im jeweiligen Rasterbereich als Kontaminationsschicht ab.
 
Zur Lösung dieses Problems bieten wir verschiedene Geräte zum Kauf an, mit denen REM-, TEM- oder FIB-REM-Vakuumkammern (sowie deren Proben) von Verunreinigungen durch Kohlenwasserstoff gereinigt werden können.
 
Service
Wer nur selten eine Dekontaminierung seines Systems benötigt, kann auch unseren Service in Anspruch nehmen.
Auf Wunsch reinigen wir die Kammer Ihres Elektronenmikroskops. Die Reinigung kann während eines normalen Wartungstermins oder bei einem separaten Besuch stattfinden. Der Reinigungsvorgang dauert allerdings einige Stunden. Entsprechend muss diese Zusatzleistung im Vorhinein abgestimmt werden.
 
Die Einzelbestandteile des Kohlenwasserstoffes werden dabei über die Vakuumpumpen abgepumpt. Zur Dekontaminierung sind keine Zusatzgase notwendig, es reicht die normale Raumluft. Der Anschluss an das REM/FIB-REM etc. erfolgt über einen DIN KF40 Flansch. Falls kein entsprechender Flansch am System vorhanden oder frei ist, halten wir zumindest für die meisten TESCAN REM/FIB-REM entsprechende Flansche bereit.

 
Für nähere Angaben stehen wir Ihnen gerne zur Verfügung.