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Multifunktions-Plasmasysteme

PIE Scientific

Die PIE Scientific Tergeo Tabletop-Plasmacleaner sind Hochleistungssysteme für den Laborbetrieb in Forschung und Industrie.
 
Die Grundlagen der zugrundeliegenden Technologie wurden von der “Plasma and Ion Source Technology Group” am Lawrence Berkeley National Laboratory in Kalifornien entwickelt.

 
Alle Gerätesysteme der PIE Scientific Tergeo Serie verfügen über eine einzigartige, patentierte Plasmasensor Technologie zur quantitativen Plasmastärkemessung. Die erhobenen quantitativen Daten sind der Schlüssel, um wiederholbare und gleichbleibende Ergebnisse bei wissenschaftlichen Experimenten oder industriellen Produktionsabläufen zu erreichen. Die Tergeo Plasmacleaner bieten sowohl Immersions- als auch Downstream-Plasmacleaning in einem Gerät. Das macht sie zu vielseitigen Systemen für eine große Bandbreite von Anwendungen, wie Plasmaätzen, Plasmareinigung und Modifikation der Oberflächenbeschaffenheit.
 

Einsatzbeispiele
 
 REM und TEM
 Kleinproduktionen
 Forschung und Entwicklung
 Dentallabore und Medizin
 Sterilisation
 Feinmechanik
 Optik
 Textilindustrie
 Halbleiterfertigung (ätzen)
 

PIE Scientific Tergeo Tabletop Plasma Cleaner

Anwendungsbeispiele
 
 Entfernung von Kohlenwasserstoffrückständen auf REM- und TEM-Proben
 Aktivierung und Sterilisierung medizinischer Instrumente
 Ätzung von Fotowiderständen, Reinigung von Siliziumwafern
 PDMS, Mikrofluide, Glasträger und Lab-on-a-Chip
 Drahtbonden, Flip-Chip-Underfill, Enkapsulation und Dekapsulation
 Verbesserung der Verbindung von Metallen oder Verbundwerkstoffen
 Verbesserung der Klebefähigkeit bei Plastik, Polymeren und Verbundwerkstoffe
 


PIE Scientific SEMI-KLEEN Downstream-Plasmacleaner

Der PIE Scientific SEMI-KLEEN Quartz Remote-Plasmacleaner wurde entwickelt, um selbst den extrem hohen Ansprüchen in der Halbleiterindustrie zu entsprechen. Der SEMI-KLEEN Quartz kann bei Elektronenstrahl-Prüfsystemen (EBR), CD-REM, Elektronenstrahl-Inspektionssystemen (EBI), Elektronenstrahl-Lithographiesystemen, EUV Lithographie (EUVL) und EUV eingesetzt werden.
Wie die PIE Scientific EM-KLEEN Plasmaquelle verfügt auch der SEMI-KLEEN über einen integrierten Pirani-Drucksensor, eine automatische Gasflusskontrolle, ein Kühlgebläsesystem sowie einen Plasmastärke- und Temperatursensor.
 

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