Projekt Nanowerkbank
 

Die Nano- und Mikrotechnologie erfordert Werkzeuge, mit denen Objekte im Submikrometerbereich nicht nur mikroskopisch untersucht, sondern zeitgleich auch bearbeitet werden können. Dieser Aufgabe stellen wir uns als Partner im Rahmen eines öffentlich geförderten Forschungsprojektes zur Entwicklung einer "Nanowerkbank".

Ziel des Projektes ist es, Rasterelektronenmikroskope (REM) und Rasterionenmikroskope (FIB), die bisher im Wesentlichen reine Betrachtungsinstrumente waren, als vielseitige und universelle Werkbänke nutzbar zu machen. Dazu gehört unter anderem die Entwicklung von Tools und Modulen, die eine einfache und sichere (teil-)automatisierte in situ-Bearbeitung von Objekten im REM/FIB ermöglichen.
 

Unsere Projektpartner:
Klocke Nanotechnik GmbH, Aachen
2. Physikalisches Institut der RWTH Aachen
VTP der Ruhr Universität Bochum
Raith GmbH, Dortmund