Nano-Werkbank für REM und FIB-REM

Nanorobotik-Manipulatoren erweitern das TESCAN REM oder FIB-REM
zu einer Werkbank für Analyse und Materialverarbeitung.

Manipulator in einem LYRA FEG

bis zu vier Manipulatoren in einer MIRA XM

Manipulation - einfach, sicher und schnell

Definierte kartesische Bewegung und Automation durch absolute Positionierung

Automatisches, schnelles und sicheres Anfahren dank "Self Finding Tools"

Einbindung der Manipulatorposition in die REM-Steuerung für sichere Bewegunen durch "Global Coordinates"

Einfache Manipulatorsteuerung ohne Expertenwissen durch "Live Image Positioning"

TESCAN Komplettlösung: Automatisierung der REM- und Manipulatoranwendung mit nur einer Steuerung

Viele verschiedene Applikationen mittels "REM/FIB-REM Werkbank"
 

Beispielanwendungen für die REM/FIB-REM Werkbank

Halbautomatische Partikelerkennung für Materialforschung und Forensik

Zerstörungsfreie dimensionale Messungen bei Hochauflösung

Tribologietest an Mikro- und Nano-Bauteilen
(Verschleißzustand, Abrieb, Beanspruchung, ...)

NanoFab im REM/FIB-REM: Nano-Fabrikation in der Automation
(CNT-Bauteile, TEM-Lamellen)

Mikrohärtemessung von Nanoteilchen

Schnelle, einfache und sichere Nano-Sondierung

Hochautomatisierte Abläufe und Messungen in der Halbleiterforschung
 

REM-Bild: Struktur eines TFT Displays

dimensionale Messung mit dem "3D-Nanofinger™”

Rauigkeitsmessung mit dem 3D-Nanofinger™ in einer Rille

3D-Nanofinger ist ein eingetragenes Warenzeichen der Klocke Nanotechnik GmbH