MIRA  In-Beam Detektor

Die neue Generation der
MIRA Serie beinhaltet neben dem Standard-Sekundärelektronen-Detektor einen In-Beam-Sekundärelektronen- Detektor.
Durch seine Position innerhalb der Objektivlinse ermöglicht der In-Beam- Detektor auch bei sehr kurzen Arbeitsabständen die Abbildung von SE- Elektronen ohne Signalverlust.

 

Vorteile gegenüber einem Standard-SE-Detektor:

Arbeiten mit sehr geringem Arbeitsabstand möglich

Hohe Auflösung, auch bei niedrigen Beschleunigungsspannungen

Geringeres Wechselwirkungsvolumen,
d.h. hohe Auflösung

 
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