MIRA Beam Deceleration Mode

TESCAN MIRA Modelle sind optional als Ausführung mit Beam Deceleration Technologie (BDT) erhältlich. Der Beam Deceleration Mode (BDM) kann dabei je nach Einsatzfeld des REM wahlweise zu- oder abgeschaltet werden.
 

BDM Funktionsprinzip
An die Probe wird eine negative Spannung von -3 kV bis -5 kV angelegt. Dadurch werden die Elektronen mit hoher Beschleu-nigungsspannung emittiert und erst nahe der Probenoberfläche auf die gewünschte geringere Spannung abgebremst.
 
Der daraus resultierende geringere chromatische Fehler führt zu einer besseren Auflösung im Niederenergiebereich, wodurch feinste Details abgebildet werden können.
 

Betragen beispielsweise die Energie des Primärstrahls 5 keV und die Vorspannung der Probe -4 kV, ergibt sich daraus eine Auftreffenergie ("landing energy") von 1 keV.
 

Vorteile des BDM
im Low-kV Bereich
Der Beam Deceleration Mode (BDM) macht es möglich, mit äußerst niedriger Auftreffenergie bis zu 50 V zu arbeiten.
So können Strahlschäden an empfindlichen Proben effektiv verhindert werden.
Zudem ermöglicht der BDM eine bessere Auflösung im Low- und Ultra-Low-kV Bereich.
 

Die Fokussierung des Elektronenstrahls wird selbstverständlich auch im Beam Deceleration Mode (BDM) präzise durch das von der Firma TESCAN entwickelte und geschützte In-Flight Beam Tracing™ gesteuert.
 
BDM Benutzer-Modi
Zur einfachen und schnellen Handhabung des BDM kann der "Basic-User" lediglich vordefinierte Kombinationen und die Auftreffenergie einstellen. Erfahrene Nutzer hingegen haben die Möglichkeit, alle Parameter unabhängig voneinander einstellen.
 

ohne Beam Deceleration Mode

mit Beam Deceleration Mode

Auflösungstest mit Au-C Probe, Beschleunigungsspannung 1 kV

 
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