hochauflösende
Schottky FE-REM

TESCAN stellt mit den MIRA REM seine vielfach bewährte Serie von Hochleistungs-FE-REM mit einem Schottky-Feldemissions-Kathodensystem vor.

Die wichtigste Merkmale
der TESCAN MIRA FE-REM

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Schottky Emitter mit hoher Effizienz für brillante, hochauflösende und rauscharme Bilder, sowie hohem Strahlstrom für analytische Aufgaben

Einzigartige 3-Linsen-Elektronenoptik (»Wide Field Optics™«), mit spezieller Tescan-Zwischenlinse zur Optimierung der Strahl-Apertur für verschiedenste Arbeits- und Darstellungsmodi

Echtzeit-Strahloptimierung (»In-Flight Beam Tracing™«)  für bestmögliche Abbildungs- und Analyseeigenschaften, unter Einbeziehung der anerkannten Software »Electron Optical Design«

3D-Live-Stereo erlaubt einzigartige Ansichten

In-Beam Sekundärelektronen-Detektor für Höchstauflösung

Ausgezeichnete analytische Möglichkeiten; bis zu 20 Kammerflansche mit optimierter analytischer Geometrie erlauben die gleichzeitige Adaption von EDX, WDX und EBSD

Vollautomatisierte Gerätevoreinstellung und -optimierung, inklusive Einstellung und Strahloptimierung der Elektronenoptik

Varianten mit »Beam Deceleration Technologie« optional erhältlich

Hervorragendes Preis- / Leistungsverhältnis
 

TESCAN MIRA LMTESCAN MIRA XMTESCAN MIRA GM

 
Die Rasterelektronenmikroskope der TESCAN MIRA Serie setzen mit ihrer Windows™ basierten, intuitiven Benutzeroberfläche neue Maßstäbe in Sachen Bedienerfreundlichkeit.
Vielfältige Automationsroutinen zur Feineinstellung sowie die Automatisierung von Arbeitsabläufen erlauben es dem Anwender, auf einfachem Wege schnell hochqualitative Ergebnisse zu erzielen.
 

TESCAN MIRA Kammer Spezifikationen

LM

XM

GM

Kammer- Innengröße

Ø 230 mm

290 x 340 mm (B,T)

340 x 315 mm (B,T)

Türbreite

148 mm

290 x 322 mm (B,H)

340 x 320 mm (B,H)

Typ

euzentrisch

compuzentrisch

compuzentrisch

X

80 mm mot.

130 mm mot.*

130 mm mot.

Y

60 mm mot.

130 mm mot.*

130 mm mot.

Z

47 mm man.

100 mm mot.

100 mm mot.

Rotation

360° mot.

360° mot.

360° mot.

Kippung (Tilt)

-80 bis +80° mot.

-30 bis +90° mot.

-60 bis +90° mot.

Probenhöhe

81 mm max.

147 mm max.

147 mm max.

 
Aus verschiedenen Varianten, Kammertypen und Komponenten lässt sich ein für Ihre Anforderungen und Ihr Budget optimal passendes REM zusammenstellen. Zudem steht eine große Palette an Analysensystemen und Zubehörkomponenten zur Verfügung.
 

TESCAN MIRA REM Spezifikationen

Kammertyp

LM- / XM- / GM-

Vakuumtyp

H

U

*Auflösung

Hochvakuum-Modus
(mit In-Beam SE Option)

1,0 nm bei 30 kV
1,2 nm bei 15 kV
2,0 nm bei 3 kV
3,5 nm bei 1 kV

1,0 nm bei 30 kV
1,2 nm bei 15 kV
2,0 nm bei 3 kV
3,5 nm bei 1 kV

Hochvakuum-Modus
(mit BDT Option)

1,5 nm bei 3 kV
1,8 nm bei 1 kV
2,5 nm bei 200 V

1,5 nm bei 3 kV
1,8 nm bei 1 kV
2,5 nm bei 200 V

Niedervakuum-Modus
(LVSTD)

 —

1,5 nm bei 30 kV

Vakuum

Hochvakuum-Modus

< 9*10-3 Pa

< 9*10-3 Pa

Niedervakuum-Modus

 —

7 - 500 Pa

Arbeitsmodi Elektronenoptik

Resolution, Depth, Field, Wide Field, Channelling

Vergrößerung

ca. 1,5 bis 1.000.000 fach (je nach Kammermodell)

Beschleunigungsspannung

200 V bis 30 kV (ab 50 V bei Modellen mit BDT)

Kathodensystem

Feldemission (Schottky Emitter)

Strahlstrom

2 pA bis 200 nA

Vakuumsystem

Vollautomatisch, inklusive ölfreier Rotations-, luftgekühlter Turbomolekular- und Ionengetterpumpe; abgesichert gegen Stromausfall; Pumpzeit ca. 2-3 Minuten

Systemvoraussetzungen

230 V / 50 Hz oder 120 V / 60 Hz, 2200 VA
(Verbrauch ≈ 1,0 kWh), kühlwasserfreies System, Druckluft 6 bis 8 bar, trockener Stickstoff 1,5 bis 5 bar, minimale Aufstellfläche 3 x 3 m (Gerät ca. 2,2 x 1,25 m)

Wide Field Optics™ und In-Flight Beam Tracing™ sind eingetragene Warenzeichen von Tescan, a.s.
Windows™ ist ein eingetragenes Warenzeichen der Microsoft Corporation USA und anderer Länder.
 

TESCAN TRACE GSR

Die TESCAN MIRA REM sind, ebenso wie die TESCAN VEGA REM auch als “TRACE GSR” Modelle mit integriertem EDX-System und Software zur GSR-Analyse erhältlich.
 
Nähere Einzelheiten finden Sie hier.

 

 
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Wir stehen Ihnen gerne zur Verfügung!