Die MAIA Elektronensäule

In-Beam SE = 0,7 nm @ 15 keV

SE (BDM) = 1,0 nm @ 1 keV

TESCANs neue Triglav™ Säule ist eine extrem leistungsfähige elektronenoptische Säule, die Höchstauflösung auch bei bei niedrigster Auftreffenergie erzeugt. Ausgestattet mit neuentwickelter Elektronenoptik und durchdachtem Detektorsystem, bietet die Triglav™ Elektronensäule dem Anwender maximale Oberflächenempfindlichkeit und ausgezeichneten topographischen Kontrast auch bei hochempfindlichen oder nichtleitenden Proben.
 

TriLens™: Elektronenoptik, basierend auf drei Objektivlinsen, mit denen mehrere Bild- und Arbeitsmodi möglich sind

Einzigartige Kombination aus UH-Resolution-Linse mit Crossover-freiem Strahlengang für ausgezeichnete Höchstauflösung: 0,7 nm @ 15 kev / 1 nm @ 1 keV

TriSE™: Drei SE Detektoren, um selbst die feinsten Oberflächendetails aufzunehmen (optional bei MAIA, GAIA und XEIA)

TriBE™: Drei BSE Detektoren für besten Kontrast unter verschiedenen Abnahmewinkeln (optional bei MAIA, Standard bei GAIA und XEIA)

EquiPower™: System zur Wärmeableitung und Temperaturstabilisierung für beste Säulen- bzw. Strahlstabilität, ideal bei zeitintensiven Anwendungen wie FIB-REM Tomographie
 

TESCAN MAIA Modell 2016TESCAN XEIA Modell 2016TESCAN GAIA Modell 2016

TriLens™ Elektronenoptik
a) Intermediäre Linse (IML)
b) Analytik-Linse
c) UH-Resolution-Linse
 

Goldpartikel auf Kohle
aufgenommen bei 50 eV
mit SE (BDM) Detektor mit
UH-Resolution-Linse
 

TriSE™ Detektorsystem
a) SE (BDM)
b) In-Beam SE
c) In-Chamber SE
 

TriBE™ Detektorsystem
a) In-Beam BSE
b) Mid-Angle BSE
c) In-Chamber BSE
 

 
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