LYRA Focused Ion Beam FE-REM

Tescan FIB Focused Ion Beam Rasterelektronenmikroskop

Focused Ion Beam FE-REM

Mit der LYRA bietet Tescan ein hochauflösendes Schottky FE-REM mit integriertem Focused Ion Beam (FIB) System.
 
Wichtigste Merkmale der LYRA FIB-REM:

Einzigartige Gallium Focused Ion Beam Säule für äußerst geringe Ionenstreuung

Motorisierter Blendenwechsler und Beam Blanker

Gas Injection System (GIS) mit fünf unabhängigen Kapillaren und automatischer Positionierung

Electron Beam mit spezieller Tescan Wide Field Optics™ für verschiedenste Arbeits- und Darstellungsmodi

Niedervakuum Option für die Untersuchung nicht leitender Proben
 

TESCAN LYRA FIB FE-REM

TESCAN LYRA Kammer Spezifikationen

XM

GM

Kammerinnengröße

290 x 340 mm (B,T)

340 x 315 mm (B,T)

Türmaße

290 x 322 mm (B,H)

340 x 320 mm (B,H)

Typ

compuzentrisch

compuzentrisch

X

130 mm mot.

130 mm mot.

Y

130 mm mot.

130 mm mot.

Z

100 mm mot.

100 mm mot.

Rotation

360° mot.

360° mot.

Kippung (Tilt)

-30 bis +90° mot.

-60 bis +90° mot.

Probenhöhe

141 mm max.

141 mm max.

Ports

12+

20+

TESCAN LYRA  FE FIB-REM Spezifikationen

Kammer & Vakuum

XMH / XMU / GMH / GMU

Säule

SEM

FIB

Kathodensystem

FE-Kathode

Gallium Flüssigmetall Ionenquelle

Auflösung

1,2 nm bei 30 kV **

< 2,5 nm bei 30 kV (Cobra)
< 5 nm bei 30 kV (Canion)

Vakuum

Gun

< 3*10-7 Pa

< 5*10-6 Pa

Hochvakuum Modus

< 9*10-3 Pa

 —

Niedervakuum Modus
(nur bei U-Variante)

7-500 Pa

 —

Arbeitsmodi

Resolution, Depth, Field, Wide Field, Channelling, E-Beam*,  3D Live Stereo, Lithografie

Abbildung, REM-FIB Simultanabbildung, I-Beam*, Ätzen, selektives Ätzen, Polieren

Vergrößerung

1 bis 1.000.000 fach

150 bis 1.000.000 fach

Beschleunigungsspannung

200 V bis 30 kV

500 V bis 30 kV

Strahlstrom

2 pA bis 200 nA

1 pA bis 40 nA

Systemvoraussetzungen

230 V / 50 Hz oder 120 V / 60 Hz, 2300 VA
(Verbrauch ≈ 1,2 kWh), kühlwasserfreies System, Druckluft 6 bis 8 bar, Trockener Stickstoff 1,5 bis 5 bar, minimale Aufstellfläche 4 x 3,5 m

*
Option GIS-System wird zum Materialauttrag benötigt!
 
**
Auflösungen von TESCAN LYRA Modellen mit “Beam Deceleration Technologie” (BDT) sowie weitere Informationen zu BDT auf Anfrage.
 
Wide Field Optics™ und In-Flight Beam Tracing™ sind eingetragene Warenzeichen von Tescan, a.s.
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