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Dekontaminierung von Kammer und Proben

PIE Scientific

Probendekonatmination, Kammer säubern, Proben säubern, Hydrocarbon entfernen, Dekontamination

Die PIE Scientific KLEEN Remote-Plasmacleaner basieren auf hocheffizienter "Inductively Coupled Plasma (ICP) Discharge" Technologie, entwickelt am Lawrence Berkeley National Laboratorium. Verglichen mit traditioneller ICP Discharge Technologie, verbessert die von PIE Scientific patentierte Turbo Discharge™ Technologie die Plasmastärke sogar noch um das Dreifache.

 
Kontamination

PIE Scientific EM-KLEEN Downstream-PlasmacleanerDer Elektronenbeschuss einer Proben-  oberfläche im REM oder FIB-REM bewirkt häufig Kontamination in Form eines dunklen Rechtecks des Rasterfeldes. Ursache sind im REM vorhandene, oder durch verschmutzte Proben eingeschleppte Kohlenwasserstoffe. Sie werden durch den Elektronenstrahl gecrackt und lagern sich im jeweiligen Rasterbereich als Schicht ab.
 
Reinigung
Durch Reinigung von Proben und Probenkammer wird die Kontaminierung stark reduziert. Der Kohlenwasserstoff wird durch das Plasma des PIE Scientific EM-KLEEN in die Einzelbestandteile aufgespalten. Diese werden über die Vakuumpumpen abgepumpt. Zur Dekontaminierung sind keine Zusatzgase notwendig, es reicht die normale Raumluft.
 
Anschluss
Der Anschluss an REM oder FIB-REM erfolgt über einen DIN KF40 Flansch.
 

unerwüschte Artefakte

unerwüschte Artefakte

nach der Plasmareinigung

nach der Plasmareinigung

 
Steigern Sie die Effektivität Ihres Elektronenmikroskops durch regelmäßige Reinigung der Probenkammer und Proben von Kohlenwasserstoffrückständen. Die Dekontaminierung von TESCAN REM bieten wir unseren Kunden auch als spezielle Service-Zusatzleistung an.
 

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