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für hochauflösende REM - / TEM - Aufnahmen

Turbo Sputter Coater 208 HR

Automatischer oder manueller Betrieb

Sputterrate einstellbar von 1 - 0,002 nm / Sek.

Strukturfreie Beschichtung für FE-REM / TEM

Variabler Probenkammeraufbau durch modulare Bauweise

Vom Argondruck unabhängiger Sputterstrom für gleichmäßige Beschichtung auch schwer zugänglicher Stellen

Schichtdickensteuerung MTM-20 für genaue und reproduzierbare Schichtdicken

Planetengetriebetisch mit veränderbarem Kippwinkel

Rotations- und Turbomolekularpumpe,
sowie Cr- und Pt/Pd- Target

Ölfreies Vakuumsystem (optional)


Turbo Carbon Coater 208 carbon

Automatischer oder manueller Betrieb

HIGH - (hohe Auflösung) und
LOW - (diffuses Bedampfen) Betriebsmodi

Regelbare Steuerung für Strom, Spannung und Zeit

Reproduzierbare Schichten durch Feedback-Kontrolle

Konstante Beschichtung der Proben

Konfigurationen für REM und / oder TEM

Penning / Pirani Vakuummesssystem

Rotations- und Turbomolekularpumpe